Ufumbuzi wa Teknolojia kwa Mifumo ya Utoaji wa Gesi Safi ya Juu kwa Michakato ya Semiconductor

Teknolojia ya mabomba ya gesi ya usafi wa hali ya juu ni sehemu muhimu ya mfumo wa usambazaji wa gesi ya usafi wa hali ya juu, ambayo ni teknolojia muhimu ya kutoa gesi inayohitajika ya usafi wa juu hadi kiwango cha matumizi na bado kudumisha ubora uliohitimu;Teknolojia ya mabomba ya gesi ya usafi wa juu ni pamoja na muundo sahihi wa mfumo, uteuzi wa fittings na vifaa, ujenzi na ufungaji, na kupima.Katika miaka ya hivi karibuni, mahitaji yanayozidi kuwa madhubuti juu ya maudhui ya usafi na uchafu wa gesi za usafi wa juu katika uzalishaji wa bidhaa za microelectronics zinazowakilishwa na nyaya za kuunganisha kwa kiasi kikubwa zimefanya teknolojia ya mabomba ya gesi ya juu-usafi kuzidi kuwa na wasiwasi na kusisitizwa.Yafuatayo ni maelezo mafupi ya mabomba ya gesi ya usafi wa juu kutoka kwa uteuzi wa nyenzoof ujenzi, pamoja na kukubalika na usimamizi wa kila siku.

Aina za gesi za kawaida

Uainishaji wa gesi ya kawaida katika sekta ya umeme:

Gesi za kawaida(Gesi nyingi）: hidrojeni (H₂₎, nitrojeni (N₂oksijeni (O₂), Argon (A₂), na kadhalika.

Gesi maalumni SiH₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  BCL_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… na kadhalika.

Aina za gesi maalum zinaweza kuainishwa kama babuzigesi, yenye sumugesi, kuwakagesi, inayoweza kuwakagesi, ajizigesi, nk. Gesi za semicondukta zinazotumika kwa kawaida huainishwa kama ifuatavyo.

(i) Hubabu/sumugesi: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BCl₃…na kadhalika.

(ii) Kuwakagesi: H₂, CH₄, SiH₄, PH₃, ASH3, SiH₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, CO...nk.

(iii) kuwakagesi:O₂, Cl₂, N₂O, NF₃… na kadhalika.

(iv) Ajizigesi: N₂, CF₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, CO₂, Ne, Kr, He...nk.

Gesi nyingi za semiconductor ni hatari kwa mwili wa binadamu.Hasa, baadhi ya gesi hizi, kama vile SiH₄ mwako wa hiari, mradi uvujaji utaitikia kwa ukali na oksijeni ya hewa na kuanza kuwaka;na Ash₃yenye sumu, uvujaji wowote mdogo unaweza kusababisha hatari ya maisha ya binadamu, ni kwa sababu ya hatari hizi za wazi, hivyo mahitaji ya usalama wa muundo wa mfumo ni ya juu sana.

Upeo wa maombi ya gesi  

Kama malighafi muhimu ya tasnia ya kisasa, bidhaa za gesi hutumiwa sana, na idadi kubwa ya gesi za kawaida au gesi maalum hutumiwa katika madini, chuma, petroli, tasnia ya kemikali, mashine, umeme, glasi, keramik, vifaa vya ujenzi, ujenzi. , sekta za usindikaji wa chakula, dawa na matibabu.Utumiaji wa gesi una athari muhimu kwa teknolojia ya hali ya juu ya nyanja hizi haswa, na ni gesi yake ya malighafi ya lazima au gesi ya mchakato.Tu kwa mahitaji na uendelezaji wa sekta mbalimbali mpya za viwanda na sayansi na teknolojia ya kisasa, bidhaa za sekta ya gesi zinaweza kuendelezwa kwa kiwango kikubwa na mipaka kwa suala la aina, ubora na wingi.

Utumiaji wa gesi katika tasnia ya elektroniki na semiconductor

Matumizi ya gesi daima imekuwa na jukumu muhimu katika mchakato wa semiconductor, hasa mchakato wa semiconductor imekuwa ikitumika sana katika viwanda mbalimbali, kutoka kwa ULSI ya jadi, TFT-LCD hadi sekta ya sasa ya micro-electro-mechanical (MEMS), yote ya ambayo hutumia kinachojulikana kama mchakato wa semiconductor kama mchakato wa utengenezaji wa bidhaa.Usafi wa gesi una athari ya kuamua juu ya utendaji wa vipengele na mazao ya bidhaa, na usalama wa usambazaji wa gesi unahusiana na afya ya wafanyakazi na usalama wa shughuli za mimea.

Umuhimu wa mabomba ya usafi wa juu katika usafiri wa gesi ya usafi wa juu

Katika mchakato wa kuyeyuka kwa chuma cha pua na kutengeneza nyenzo, karibu 200g ya gesi inaweza kufyonzwa kwa tani.Baada ya usindikaji wa chuma cha pua, si tu uso wake nata na uchafu mbalimbali, lakini pia katika kimiani chuma yake pia kufyonzwa kiasi fulani cha gesi.Wakati kuna mtiririko wa hewa kupitia bomba, chuma kinachukua sehemu hii ya gesi itaingia tena kwenye mtiririko wa hewa, na kuchafua gesi safi.Wakati mtiririko wa hewa katika bomba ni mtiririko usioendelea, bomba huingiza gesi chini ya shinikizo, na wakati mtiririko wa hewa unaacha kupita, gesi inayotangazwa na bomba hutengeneza kushuka kwa shinikizo ili kutatua, na gesi iliyotatuliwa pia huingia kwenye gesi safi kwenye bomba. kama uchafu.Wakati huo huo, adsorption na azimio hurudiwa, ili chuma kwenye uso wa ndani wa tube pia hutoa kiasi fulani cha poda, na chembe za vumbi vya chuma hiki pia huchafua gesi safi ndani ya bomba.Tabia hii ya bomba ni muhimu ili kuhakikisha usafi wa gesi iliyosafirishwa, ambayo inahitaji si tu laini ya juu sana ya uso wa ndani wa tube, lakini pia upinzani wa juu wa kuvaa.

Wakati gesi yenye uwezo mkubwa wa kutu inapotumiwa, mabomba ya chuma cha pua yanayostahimili kutu lazima yatumike kwa mabomba.Vinginevyo, bomba itazalisha matangazo ya kutu kwenye uso wa ndani kutokana na kutu, na katika hali mbaya, kutakuwa na eneo kubwa la kupigwa kwa chuma au hata utoboaji, ambao utachafua gesi safi ya kusambazwa.

Uunganisho wa usafi wa juu na usafi wa juu wa usambazaji wa mabomba ya gesi na usambazaji wa viwango vya mtiririko mkubwa.

Kimsingi, zote ni svetsade, na zilizopo zinazotumiwa zinahitajika kuwa hakuna mabadiliko katika shirika wakati kulehemu kunatumika.Nyenzo zilizo na kaboni ya juu sana zinakabiliwa na upenyezaji wa hewa wa sehemu za svetsade wakati wa kulehemu, ambayo hufanya kupenya kwa pande zote za gesi ndani na nje ya bomba na kuharibu usafi, ukavu na usafi wa gesi inayopitishwa, na kusababisha hasara ya juhudi zetu zote.

Kwa muhtasari, kwa gesi ya usafi wa juu na bomba maalum la maambukizi ya gesi, ni muhimu kutumia matibabu maalum ya bomba la chuma cha pua la usafi wa juu, kufanya mfumo wa bomba la usafi wa juu (ikiwa ni pamoja na mabomba, fittings, valves, VMB, VMP) katika usambazaji wa gesi ya usafi wa hali ya juu unachukua misheni muhimu.

Wazo la jumla la teknolojia safi ya usafirishaji na usambazaji wa bomba

Usambazaji wa mwili wa gesi safi na safi kwa bomba inamaanisha kuwa kuna mahitaji au vidhibiti fulani kwa vipengele vitatu vya gesi kusafirishwa.

Usafi wa gesi: Yaliyomo katika angahewa ya uchafu katika usafi wa gGas: Maudhui ya angahewa ya uchafu katika gesi, kwa kawaida huonyeshwa kama asilimia ya usafi wa gesi, kama vile 99.9999%, pia huonyeshwa kama uwiano wa ujazo wa maudhui ya angahewa ya uchafu ppm, ppb, uk.

Ukavu: kiasi cha ufuatiliaji wa unyevu katika gesi, au kiasi kinachoitwa unyevu, kwa kawaida huonyeshwa kulingana na kiwango cha umande, kama vile kiwango cha umande wa shinikizo la anga -70.C.

Usafi: idadi ya chembe chafu zilizomo kwenye gesi, saizi ya chembe ya µm, ni chembe ngapi/M3 za kueleza, kwa hewa iliyobanwa, kwa kawaida pia huonyeshwa kulingana na ni mg/m3 ngapi za mabaki yasiyoweza kuepukika, ambayo hufunika maudhui ya mafuta. .

Uainishaji wa ukubwa wa uchafuzi: chembe za uchafuzi, hasa hurejelea kuchujwa kwa bomba, kuvaa, kutu inayotokana na chembe za chuma, chembe za masizi ya anga, na vile vile vijidudu, fagio na matone ya gesi yenye unyevu, nk, kulingana na saizi ya chembe yake. imegawanywa katika

a) Chembe kubwa - ukubwa wa chembe juu ya 5μm

b) Chembe - kipenyo cha nyenzo kati ya 0.1μm-5μm

c) Chembe ndogo zaidi - ukubwa wa chembe chini ya 0.1μm.

Ili kuboresha utumiaji wa teknolojia hii, kuweza kuelewa ufahamu wa ukubwa wa chembe na vitengo vya μm, seti ya hali maalum ya chembe hutolewa kwa kumbukumbu.

Ifuatayo ni ulinganisho wa chembe maalum