Ufumbuzi wa teknolojia kwa mifumo ya utoaji wa gesi ya hali ya juu kwa michakato ya semiconductor

Teknolojia ya bomba la gesi ya hali ya juu ni sehemu muhimu ya mfumo wa usambazaji wa gesi ya hali ya juu, ambayo ndio teknolojia muhimu ya kupeana gesi inayohitajika kwa kiwango cha matumizi na bado inadumisha ubora uliohitimu; Teknolojia ya bomba la gesi ya hali ya juu ni pamoja na muundo sahihi wa mfumo, uteuzi wa vifaa na vifaa, ujenzi na ufungaji, na upimaji. Katika miaka ya hivi karibuni, mahitaji madhubuti juu ya usafi na uchafu wa gesi ya hali ya juu katika utengenezaji wa bidhaa za microelectronics zinazowakilishwa na mizunguko mikubwa iliyojumuishwa imefanya teknolojia ya bomba ya gesi ya hali ya juu izidi kuwa na wasiwasi na kusisitiza. Ifuatayo ni muhtasari mfupi wa bomba la gesi-safi kutoka kwa uteuzi wa nyenzoof ujenzi, pamoja na kukubalika na usimamizi wa kila siku.

Aina za gesi za kawaida

Uainishaji wa gesi za kawaida katika tasnia ya umeme:::

Gesi za kawaidaYGesi ya wingi）: Hydrogen (h₂₎, nitrojeni (n₂), oksijeni (o₂), argon (a₂), nk

Gesi maalumni sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,POCL_3, Sih2cl₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,CLF₃ ,Co,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… nk.

Aina za gesi maalum kwa ujumla zinaweza kuainishwa kama babuzigesi, sumugesi, kuwakagesi, kuwakagesi, inertgesi, nk. Gesi za kawaida za semiconductor kwa ujumla huainishwa kama ifuatavyo.

(i) kutu / sumugesi: HCl, bf₃, Wf₆, Hbr, Sih₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃… Nk.

(ii) Kuwakagesi: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, Sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,Ch₃F, CO… nk.

(iii) Mchanganyikogesi: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃… Nk

(iv) inertgesi: N₂, Cf.₄, C₂F₆, C₄F_8,SF₆, Co₂, Ne, Kr, yeye… nk.

Gesi nyingi za semiconductor ni hatari kwa mwili wa mwanadamu. Hasa, baadhi ya gesi hizi, kama vile SIH₄ Mchanganyiko wa hiari, kwa muda mrefu kama uvujaji utaguswa vikali na oksijeni hewani na kuanza kuchoma; na majivu₃Sumu kubwa, kuvuja kidogo kunaweza kusababisha hatari ya maisha ya mwanadamu, ni kwa sababu ya hatari hizi dhahiri, kwa hivyo mahitaji ya usalama wa muundo wa mfumo ni kubwa sana.

Wigo wa matumizi ya gesi  

Kama malighafi muhimu ya msingi ya tasnia ya kisasa, bidhaa za gesi hutumiwa sana, na idadi kubwa ya gesi za kawaida au gesi maalum hutumiwa katika madini, chuma, mafuta, tasnia ya kemikali, mashine, vifaa vya elektroniki, glasi, kauri, vifaa vya ujenzi, ujenzi, usindikaji wa chakula, dawa na sekta za matibabu. Matumizi ya gesi ina athari muhimu kwa teknolojia ya juu ya uwanja huu haswa, na ni gesi yake ya malighafi muhimu au gesi ya mchakato. Ni kwa mahitaji na kukuza tu sekta mpya za viwandani na sayansi ya kisasa na teknolojia, bidhaa za tasnia ya gesi zinaweza kutengenezwa kwa kiwango kikubwa na mipaka kwa suala la anuwai, ubora na wingi.

Maombi ya gesi katika tasnia ndogo na tasnia ya semiconductor

Matumizi ya gesi daima yamekuwa na jukumu muhimu katika mchakato wa semiconductor, haswa mchakato wa semiconductor umetumika sana katika tasnia mbali mbali, kutoka ULSI ya jadi, TFT-LCD hadi kwa tasnia ndogo ya elektroni (MEMS), ambayo yote hutumia mchakato unaoitwa semiconductor kama mchakato wa utengenezaji wa bidhaa. Usafi wa gesi una athari ya kuamua juu ya utendaji wa vifaa na mavuno ya bidhaa, na usalama wa usambazaji wa gesi unahusiana na afya ya wafanyikazi na usalama wa shughuli za mmea.

Umuhimu wa bomba la hali ya juu katika usafirishaji wa gesi ya hali ya juu

Katika mchakato wa kuyeyuka kwa chuma na kutengeneza vifaa, karibu 200g ya gesi inaweza kufyonzwa kwa tani. Baada ya usindikaji wa chuma cha pua, sio uso wake tu na uchafu tofauti, lakini pia katika kimiani yake ya chuma pia ilichukua kiasi fulani cha gesi. Wakati kuna mtiririko wa hewa kupitia bomba, chuma huchukua sehemu hii ya gesi itaingia tena kwenye hewa, na kuchafua gesi safi. Wakati mtiririko wa hewa kwenye bomba ni mtiririko wa kutofautisha, bomba hutangaza gesi chini ya shinikizo, na wakati hewa ya hewa inapoacha kupita, gesi iliyotolewa na bomba hutengeneza kushuka kwa shinikizo ili kusuluhisha, na gesi iliyosuluhishwa pia inaingia kwenye gesi safi kwenye bomba kama uchafu. Wakati huo huo, adsorption na azimio hurudiwa, ili chuma kwenye uso wa ndani wa bomba pia hutoa kiasi fulani cha poda, na chembe za vumbi za chuma pia huchafua gesi safi ndani ya bomba. Tabia hii ya bomba ni muhimu ili kuhakikisha usafi wa gesi iliyosafirishwa, ambayo haitaji tu laini ya juu ya uso wa ndani wa bomba, lakini pia upinzani mkubwa wa kuvaa.

Wakati gesi iliyo na utendaji mzuri wa kutu inatumiwa, bomba la chuma-sugu cha kutu lazima litumike kwa bomba. Vinginevyo, bomba litatoa matangazo ya kutu kwenye uso wa ndani kwa sababu ya kutu, na katika hali mbaya, kutakuwa na eneo kubwa la kupigwa kwa chuma au hata utakaso, ambao utachafua gesi safi kusambazwa.

Uunganisho wa usafi wa hali ya juu na usambazaji wa gesi safi na bomba la usambazaji wa viwango vikubwa vya mtiririko.

Kimsingi, zote ni svetsade, na zilizopo zinazotumiwa zinahitajika kuwa na mabadiliko katika shirika wakati kulehemu kunatumika. Vifaa vilivyo na kiwango cha juu sana cha kaboni kinakabiliwa na upenyezaji wa hewa ya sehemu za svetsade wakati wa kulehemu, ambayo hufanya kupenya kwa gesi ndani na nje ya bomba na kuharibu usafi, kavu na usafi wa gesi iliyopitishwa, na kusababisha upotezaji wa juhudi zetu zote.

Kwa muhtasari, kwa gesi ya hali ya juu na bomba maalum la maambukizi ya gesi, inahitajika kutumia matibabu maalum ya bomba la chuma-safi, kutengeneza mfumo wa bomba la hali ya juu (pamoja na bomba, vifaa, valves, VMB, VMP) katika usambazaji wa gesi ya hali ya juu huchukua kazi muhimu.

Dhana ya Jumla ya Teknolojia Safi kwa Uhamishaji na Bomba za Usambazaji

Uwasilishaji safi na safi wa mwili wa gesi na bomba inamaanisha kuwa kuna mahitaji fulani au udhibiti wa nyanja tatu za gesi kusafirishwa.

Usafi wa gesi: Yaliyomo ya mazingira ya uchafu katika usafi wa GGAS: yaliyomo katika mazingira ya uchafu katika gesi, kawaida huonyeshwa kama asilimia ya usafi wa gesi, kama 99.999%, pia huonyeshwa kama uwiano wa kiwango cha hali ya uchafu wa PPM, PPB, PPT.

Kukausha: Kiasi cha unyevu wa kufuatilia kwenye gesi, au kiasi kinachoitwa mvua, kawaida huonyeshwa kwa suala la uhakika wa umande, kama vile shinikizo la atmospheric umande -70. C.

Usafi: Idadi ya chembe zenye uchafu zilizomo kwenye gesi, saizi ya chembe ya µm, ni chembe ngapi/m3 kuelezea, kwa hewa iliyoshinikizwa, kawaida pia huonyeshwa kwa suala la mg/m3 wangapi wa mabaki yasiyoweza kuepukika, ambayo inashughulikia yaliyomo ya mafuta.

Uainishaji wa ukubwa wa uchafu: chembe za uchafuzi, hurejelea bomba la bomba, kuvaa, kutu iliyotokana na chembe za chuma, chembe za soot za anga, pamoja na vijidudu, vijidudu na matone ya gesi yaliyo na unyevu, nk, kulingana na saizi ya ukubwa wa chembe yake imegawanywa ndani

A) Chembe kubwa - saizi ya chembe juu ya 5μm

B) chembe-kipenyo cha nyenzo kati ya 0.1μm-5μm

C) chembe za Ultra-micro-saizi ya chembe chini ya 0.1μm.

Ili kuongeza utumiaji wa teknolojia hii, kuweza uelewa wa kuona wa ukubwa wa chembe na vitengo vya μm, seti ya hali maalum ya chembe hutolewa kwa kumbukumbu

Ifuatayo ni kulinganisha kwa chembe maalum