Umaarufu wa gesi za usafi wa hali ya juu katika utengenezaji wa semiconductor

Gesi za usafi wa hali ya juu ni muhimu katika mnyororo wa usambazaji wa semiconductor. Kwa kweli, kwa kitambaa cha kawaida, gesi za hali ya juu ni gharama kubwa zaidi ya nyenzo baada ya silicon yenyewe. Kwa sababu ya uhaba wa chip wa kimataifa, tasnia inakua haraka kuliko hapo awali - na mahitaji ya gesi ya usafi mkubwa yanaongezeka.

Gesi zinazotumika sana katika utengenezaji wa semiconductor ni nitrojeni, heliamu, hidrojeni na argon.

Nitrojeni

Nitrojeni hufanya hadi 78% ya mazingira yetu na ni mengi sana. Pia hufanyika kuwa ya kemikali na isiyo ya kufanikiwa. Kama matokeo, nitrojeni imepata njia katika viwanda kadhaa kama gesi ya gharama kubwa.

Sekta ya semiconductor ni watumiaji mkubwa wa nitrojeni. Kiwanda cha kisasa cha utengenezaji wa semiconductor kinatarajiwa kutumia hadi mita za ujazo 50,000 za nitrojeni kwa saa. Katika utengenezaji wa semiconductor, nitrojeni hufanya kama kusudi la jumla la kuingiza gesi na kusafisha gesi, kulinda manyoya nyeti ya silicon kutoka kwa oksijeni tendaji na unyevu hewani.

Heliamu

Heliamu ni gesi ya inert. Hii inamaanisha kuwa, kama nitrojeni, heliamu ni ya kemikali - lakini pia ina faida iliyoongezwa ya ubora wa juu wa mafuta. Hii ni muhimu sana katika utengenezaji wa semiconductor, ikiruhusu kufanya vizuri joto mbali na michakato yenye nguvu nyingi na kusaidia kuwalinda kutokana na uharibifu wa mafuta na athari za kemikali zisizohitajika.

Haidrojeni

Hydrogen hutumiwa sana katika mchakato wote wa utengenezaji wa umeme, na uzalishaji wa semiconductor sio ubaguzi. Hasa, haidrojeni hutumiwa kwa:

Annealing: Vipuli vya silicon kawaida huwashwa kwa joto la juu na polepole kilichopozwa kukarabati (anneal) muundo wa kioo. Hydrogen hutumiwa kuhamisha joto sawasawa kwa kaki na kusaidia katika kujenga muundo wa kioo.

Epitaxy: Hydrojeni ya usafi wa hali ya juu hutumiwa kama wakala wa kupunguza katika uwekaji wa epitaxial wa vifaa vya semiconductor kama vile silicon na germanium.

Kuweka: Hydrojeni inaweza kuingizwa kwenye filamu za silicon ili kufanya muundo wao wa atomiki uwe mgawanyiko zaidi, kusaidia kuongeza resista.

Kusafisha kwa Plasma: Plasma ya haidrojeni ni nzuri sana katika kuondoa uchafu wa bati kutoka kwa vyanzo nyepesi vinavyotumiwa kwenye lithography ya UV.

Argon

Argon ni gesi nyingine nzuri, kwa hivyo inaonyesha reac shughuli ya chini kama nitrojeni na heliamu. Walakini, nishati ya chini ya ionization ya Argon hufanya iwe muhimu katika matumizi ya semiconductor. Kwa sababu ya urahisi wa jamaa yake ya ionization, Argon hutumiwa kawaida kama gesi ya msingi ya plasma kwa athari ya athari katika utengenezaji wa semiconductor. Kwa kuongezea hii, Argon pia hutumiwa katika lasers za Excimer kwa lithography ya UV.

Kwa nini mambo ya usafi

Kawaida, maendeleo katika teknolojia ya semiconductor yamepatikana kupitia ukubwa wa ukubwa, na kizazi kipya cha teknolojia ya semiconductor ni sifa ya ukubwa mdogo wa kipengele. Hii hutoa faida nyingi: transistors zaidi kwa kiasi fulani, mikondo iliyoboreshwa, matumizi ya chini ya nguvu na kubadili haraka.

Walakini, kadiri ukubwa muhimu unavyopungua, vifaa vya semiconductor vinazidi kuwa vya kisasa. Katika ulimwengu ambao msimamo wa atomi za mtu binafsi, vizingiti vya uvumilivu wa makosa ni ngumu sana. Kama matokeo, michakato ya kisasa ya semiconductor inahitaji gesi za mchakato na usafi wa juu zaidi.

Wofly ni biashara ya hali ya juu inayobobea katika Uhandisi wa Mfumo wa Maombi ya Gesi: Mfumo maalum wa gesi ya elektroniki, mfumo wa maabara ya gesi, mfumo wa usambazaji wa gesi kati ya viwandani, mfumo wa gesi nyingi (kioevu), gesi ya usafi wa hali ya juu na mfumo maalum wa bomba la gesi, mfumo wa utoaji wa kemikali, muundo wa maji safi ili kutoa seti kamili ya uhandisi na huduma za kiufundi na vifaa vya usanifu, muundo wa usanidi, usanidi wa jumla, muundo wa usanidi, muundo wa jumla wa usanidi, muundo wa jumla wa upangaji, muundo wa jumla wa usanidi, muundo wa jumla wa usanidi, muundo wa jumla wa usanidi, muundo wa jumla, muundo wa ufungaji, usanidi wa jumla, system frection, system frection, system frection, system frection, system system, specting spection, ya wavuti ya mradi, upimaji wa jumla wa mfumo, matengenezo na bidhaa zingine zinazounga mkono kwa njia iliyojumuishwa.