Sekta ya gesi katika tasnia ya semiconductor

Matumizi ya gesi katika tasnia ya semiconductor ilianza mapema miaka ya 1950 hadi 1960's. Wakati wa mchakato wa utengenezaji wa semiconductor, gesi hutumiwa sana kusafisha na kulinda vifaa vya semiconductor ili kuhakikisha usafi wao na ubora. Kati ya gesi zinazotumiwa sana ni nitrojeni na hidrojeni.

Wakati teknolojia ya semiconductor iliendeleza na michakato ya utengenezaji ikiendelea kuboreka, mahitaji ya gesi yaliongezeka. Mnamo mwaka wa 1970, maendeleo zaidi ya teknolojia ya utengenezaji wa semiconductor, utumiaji wa gesi katika michakato muhimu kama vile kuweka na kuwekwa kwa filamu nyembamba iliongezeka polepole, na gesi za fluoride (kwa mfano SF6) na oksijeni zikawa kawaida kutumiwa na gesi. 1980 iliona kuongezeka zaidi kwa mahitaji ya gesi na maendeleo ya mizunguko iliyojumuishwa na kuongezeka kwa mahitaji yao. Hydrogen ilitumika sana katika mchakato wa utengenezaji, pamoja na uboreshaji wa hidrojeni na uwekaji wa mvuke wa hidrojeni. Na kuanzia 1990 hadi sasa, mahitaji ya gesi za hali ya juu na gesi maalum zimeongezeka kwani ukubwa wa kifaa cha semiconductor umeendelea kupungua na michakato mpya imeanzishwa. Kwa mfano, utumiaji wa lithography ya ultraviolet iliyokithiri (EUV) inahitaji matumizi ya gesi za hali ya juu sana kama nitrojeni na hidrojeni.

Gesi ya semiconductor inaendelea kuongezeka na maendeleo ya bidhaa zinazohusiana zinazoendeshwa na bidhaa zaidi na zaidi zinafunuliwa, wakati gesi pia ni ya chanzo cha hatari, kwa hivyo bidhaa zinazotumiwa kwa utengamano wa gesi, bidhaa za kugundua gesi na kuzuia bidhaa za kuvuja kwa gesi zimeibuka kama vile wasanifu wa shinikizo, valves za gesi, chachi za shinikizo la gesi, kizuizi cha gesi ya kuvuja, nk.

Wadhibiti wa shinikizo: Wasanifu wa shinikizo ni vifaa vinavyotumika kudhibiti shinikizo la gesi. Kawaida huwa na valve ya mdhibiti na sensor ya shinikizo. Wasanifu wa shinikizo huchukua pembejeo kubwa ya gesi na utulivu wa shinikizo la gesi ya pato kwa kurekebisha valve ili kukidhi mahitaji maalum ya maombi. Wadhibiti wa shinikizo hutumiwa sana katika maeneo kama tasnia, utengenezaji na maabara, na pia katika tasnia ya semiconductor, miongoni mwa mengine, ili kuhakikisha utulivu na usalama wa usambazaji wa gesi.

Valves za gesi: Valves za gesi hutumiwa kudhibiti mtiririko wa gesi na kufunga vifungu vya gesi. Kawaida huwa na kazi ya ON/OFF ambayo inafungua au kufunga mtiririko wa gesi. Kuna aina anuwai ya valves za gesi, pamoja na valves za mwongozo, valves za umeme na valves za nyumatiki. Zinatumika sana katika mifumo ya gesi kudhibiti mtiririko, shinikizo na kiwango cha mtiririko wa gesi.

Vipimo vya shinikizo la gesi: Vipimo vya shinikizo la gesi hutumiwa kupima kiwango cha shinikizo la gesi. Kawaida huwekwa katika maeneo muhimu katika mifumo ya gesi ili kuangalia mabadiliko ya shinikizo na kuhakikisha kuwa ziko katika mipaka salama. Vipimo vya shinikizo la gesi hutumiwa sana katika tasnia, utengenezaji na maabara, na tasnia ya semiconductor pia imehusika.

Ugunduzi wa uvujaji wa gesi: Vipeperushi vya kuvuja vya gesi hutumiwa kugundua uvujaji katika mifumo ya gesi. WanagunduaUwepo wa uvujaji wa gesi na sauti ya kengele ili hatua za wakati unaofaa zichukuliwe kuzuia ajali za kuvuja. Ugunduzi wa uvujaji wa gesi hutumiwa sana katika matumizi ya viwandani, kemikali, mafuta na gesi, na tasnia ya semiconductor pia imehusika.