Vifaa vya matibabu ya gesi ya mkia vinaweza kushughulikia gesi zinazotumiwa katika michakato ya etching na michakato ya uwekaji wa kemikali katika semiconductor, glasi ya kioevu, na viwanda vya nishati ya jua, pamoja na SIH4, SIH2Cl2, PH3, B2H6, Teos, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2, na..
Njia ya matibabu ya gesi ya kutolea nje
Kulingana na sifa za matibabu ya gesi ya kutolea nje, matibabu yanaweza kugawanywa katika aina nne za matibabu:
1. Aina ya kuosha maji (matibabu ya gesi zenye kutu)
2. Aina ya kuongeza oksidi (inayoshughulika na gesi zenye kuwaka na zenye sumu)
3. Adsorption (kulingana na aina ya nyenzo za adsorption kukabiliana na gesi inayolingana ya kutolea nje).
Aina ya mwako wa Plasma (aina zote za gesi za kutolea nje zinaweza kutibiwa).
Kila aina ya matibabu ina faida na hasara zake pamoja na wigo wake wa matumizi. Wakati njia ya matibabu ni kuosha maji, vifaa ni vya bei rahisi na rahisi, na vinaweza kushughulikia tu gesi zenye mumunyifu; Aina ya maombi ya aina ya kuosha maji ya umeme ni kubwa kuliko ile ya aina ya kuosha maji, lakini gharama ya operesheni ni kubwa; Aina kavu ina ufanisi mzuri wa matibabu, na haitumiki kwa mtiririko wa gesi ambayo ni rahisi kufungwa au kutiririka.
Kemikali na bidhaa zao zinazotumika kawaida katika tasnia ya semiconductor zinaweza kugawanywa kulingana na mali zao za kemikali na safu zao tofauti:
1. Gesi zinazoweza kuwaka kama vile SIH4H2, nk.
2. Gesi zenye sumu kama vile ASH3, PH3, nk.
3. Gesi zenye kutu kama HF, HCl, nk.
4. Gesi za chafu kama vile CF4, NF3, nk.
Kwa kuwa gesi nne zilizo hapo juu ni hatari kwa mazingira au mwili wa mwanadamu, lazima zizuie uzalishaji wake wa moja kwa moja angani, kwa hivyo mmea wa jumla wa semiconductor umewekwa na mfumo mkubwa wa matibabu ya gesi ya kutolea nje, lakini mfumo huu ni maji tu ya kutolea nje, kwa hivyo matumizi yake ni mdogo kwa gesi ya muda mrefu ya maji. Kwa hivyo, inahitajika kuchagua na kulinganisha vifaa vya matibabu ya gesi ya kutolea nje kulingana na sifa za gesi zinazotokana na kila mchakato ili kutatua shida ya gesi ya kutolea nje kwa njia ndogo. Kama eneo la kufanya kazi liko mbali na mfumo wa matibabu ya gesi ya kutolea nje, mara nyingi kwa sababu ya sifa za gesi husababisha fuwele au mkusanyiko wa vumbi kwenye bomba, na kusababisha kuziba kwa bomba linaloongoza kwa kuvuja kwa gesi, na katika hali mbaya, hata husababisha mlipuko, hauwezi kuhakikisha kuwa usalama wa wafanyikazi wa tovuti. Kwa hivyo, katika eneo la kazi wanahitaji kusanidi vifaa vidogo vya matibabu ya gesi ya kutolea nje vinafaa kwa sifa za gesi ya mchakato, ili kupunguza gesi ya kutolea nje katika eneo la kazi, ili kuhakikisha usalama wa wafanyikazi.
Wakati wa chapisho: Aug-10-2023