.
1 | Kiwango cha juu cha shinikizo la kufanya kazi 20.6 Mpa. |
2 | Max.joto la kufanya kazi 204 ℃ (mazingira ya joto la juu hadi 454 ℃, kwa wakati huu nyenzo ya kuziba inabadilishwa na grafiti iliyopanuliwa) |
3 | Mfumo wa chujio Vichafuzi vya chembe, gesi, vimiminika vinatumika. |
4 | Usahihi wa chujio cha chuma cha pua cha chuma cha pua 2μm ~ 40μm |
5 | Mtiririko wa chujio 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Kichujio kinaweza kubadilishwa. |
Vipengele vya bidhaa vya Kichujio
1 | Upeo mpana wa maombi, mtiririko kati ya 15 hadi 300SL / min. |
2 | Ina utangamano mzuri na gesi nyingi za mchakato wa semiconductor za usafi wa hali ya juu. |
3 | 3 nanoparticle uwezo wa kuchuja hudumisha ufanisi wa juu wa mtiririko na kushuka kwa shinikizo la juu-ndogo. |
4 | 5Ra electropolished uso inaweza kuzuia uchafuzi wa ndani. |
5 | Oka na nitrojeni moto baada ya maji yaliyotengwa ili kufikia viwango vya mchakato wa semiconductor. |
6 | utengenezaji wa warsha ya aseptic isiyo na vumbi ya kiwango cha 1000, mazingira ya kusafisha na ufungaji. |
7 | Jaribio la kuvuja kwa heliamu 100%. |
Ingizo | Kituo | |
1 | 1/8″ kufaa kwa bomba | 1/8″ kufaa kwa bomba |
2 | 1/4″ kufaa kwa bomba | 1/4″ kufaa kwa bomba |
3 | 3/8″ kufaa kwa bomba | 3/8″ kufaa kwa bomba |
4 | 1/2" kufaa kwa bomba | 1/2" kufaa kwa bomba |
5 | 6mm bomba kufaa | 6mm bomba kufaa |
6 | 8mm bomba kufaa | 8mm bomba kufaa |
7 | 10mm bomba kufaa | 10mm bomba kufaa |
8 | 12mm bomba kufaa | 12mm bomba kufaa |
9 | 1/8″ NPT ya Kike | 1/8″ NPT ya Kike |
10 | 1/4″ NPT ya Kike | 1/4″ NPT ya Kike |
11 | 1/4″ NPT ya Kiume | 1/4″ NPT ya Kiume |
12 | 3/8″ NPT ya Kiume | 3/8″ NPT ya Kiume |
13 | 1/2″ NPT ya Kiume | 1/2″ NPT ya Kiume |
Vigezo vya Utendaji wa Bidhaa vya Kichujio
1 | Usahihi wa Kuchuja | ≥0.0025μm | |
2 | Ufanisi wa kuchuja | Kiwango cha uondoaji99.99999%≥0.0025μm | |
3 | Mtiririko uliokadiriwa | 15L/Dak | |
4 | 60L/Dak | ||
5 | 120L/Dak | ||
6 | 200L/Dak | ||
7 | 300L/Dak | ||
8 | Muundo wa kichujio | kipengele cha chujio | 316L/PTFE |
9 | makazi | chuma cha pua 316L | |
10 | Mazingira ya kazi | Upeo wa shinikizo la kuingiza | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | Upeo wa shinikizo la tofauti | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Kiwango cha juu cha joto cha uendeshaji | 430 ℃ (gesi ya ajizi) | |
13 | Kiwango cha kuvuja kwa Heliamu | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Kumaliza uso | ≤Ra 5μin |